半導體體積電阻率測試儀

ATI-1000S型高溫半導體體積電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統采用四線電阻法測量原理進行設計開發，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。半導體體積電阻率測試儀目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進行測試，可以廣泛用于半導體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

技術參數：

溫度范圍：RT-1000℃

升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)

控溫精度：±0.5℃

電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ

電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm

測量環境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛

測量方法：四線電阻法

測試通道：單通道

樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm

電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極

絕緣材料：99氧化鋁陶瓷

數據存儲格式：TXT文本格式

數據傳輸：USB

符合標準：ASTM

供電：220V±10%，50Hz

工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；

存儲溫度：–40 ℃ 至 +65 ℃

工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達 95%（無冷凝）

設備尺寸：400x450x580mm

重量：38kg

產品特點：

■ 高溫爐膛、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得更加簡單，測量精度則會更高；

■ 觸摸屏控制和顯示，同時支持外接鍵盤和鼠標操作，滿足多樣化需求；

■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400，擴展應用更加方便；

■ 可以實現常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導體材料的電學性能；

■ 專業的測量軟件，可以測量半導體材料的方塊電阻和電阻率；

■ 進口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛，高耐溫1100℃；

■ 內膽采用進口金屬材料，耐高溫、抗氧化，可實現常溫、高溫、真空、流動氣氛等多種試驗環境下的電學測量；

■ 為了減小高溫下導線受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩，有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬；

■ 采用九點控溫法，以傳感器為中心點，其半徑20mm的圓環上均勻鋪設八個溫度采集點，九個溫度點范圍內采集到的溫度大溫差為1℃，此范圍為樣品測試的佳溫區；

■ 彈簧夾具設計，彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實現樣品的良好接觸；

■ 上電極半球狀+下電極平板狀結構設計，可以精確定位測量被測樣品某一點；

■ 控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度；

■ 采用九點控溫法，九個溫度點范圍內采集到的溫度大溫差為1℃，此范圍為樣品測試的佳溫區；

■ 電極支撐和屏蔽采用進口合金材質，利用葉片設計可以很好解決因平臺帶來的熱弛豫影響；

■ 可以測量半導體材料的方塊電阻、電阻率，實現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能；

■ 操作簡單，功能強大的測量軟件，可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv；

■ 智能化控制，可自動調節施加在樣品的測試電壓，以防樣品擊穿；

■ 采用新的RAM嵌入式開發平臺，可以進行在線升級、遠程協助及故障診斷；

■ 測量軟件*設計；